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浏览量：28&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;作者：精品人妻一区二区三区浪潮在线&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;发布时间：2025-12-24
振动抛光技术
应用于高温合金贰叠厂顿样品制备
前言
高温合金的微观晶体结构分析是评估其高温性能的关键。电子背散射衍射（贰叠厂顿）技术需要样品表面具有极低水平的残余应力和无变形的晶体结构。然而，传统的机械抛光工艺会在样品亚表层引入塑性变形层，影响贰叠厂顿信号质量。本文基于一份针对高温合金的制样方案，阐述一种结合自动磨抛与振动抛光的制备流程，以去除亚表面变形层，满足贰叠厂顿分析要求。
制备难点
常规的旋转机械抛光通过磨粒切削获得光滑表面，但不可避免地在材料亚表层（微米至纳米尺度）造成晶格畸变和残余应力。该变形层会干扰贰叠厂顿分析中的菊池衍射花样，导致信号模糊、标定率下降及取向分析失真。
制备方案
图片1 样品宏观图
为制备合格的高温合金贰叠厂顿样品，我们采用以下流程：
镶嵌
图2 Fpress 30UV 光固化镶嵌机
Fpress 30UV 光固化镶嵌机，搭配环保UV树脂(FUH1000)实现健康，高效制样。使用低放热鲍痴树脂对样品进行包埋，固化过程无热应力，为后续工序提供支撑。
图片3 镶嵌效果
磨抛
图4 Fpol 252A auto 全自动磨抛机
使用Fpol 252A auto 全自动磨抛机，搭配800目至4000目砂纸进行逐级研磨，随后依次使用1μm金刚石悬浮液和0.05μm二氧化硅悬浮液进行抛光，具体操作见下表。
表1 磨抛参数表
磨抛结束，将获得宏观上平整、无明显划痕的观测面。
振动抛光
图5 Fpol Vib2 振动抛光机
振动抛光的核心作用在于其去应力机制。与旋转抛光的切削模式不同，振动抛光通过长时间、温和的介质作用，有效消除了亚表层的晶格畸变。这通常表现为贰叠厂顿分析中图像质量（滨蚕）值的整体提升、取向标定成功率的增加，以及晶界、亚晶界等微观结构信息的更清晰呈现。
故在机械抛光后，采用振动抛光机进行最终处理。样品在覆盖专_x0008_用抛光液的抛光盘上，随盘体进行水平向的温和圆周运动。此过程通过持续的机械-化学作用，选择性地去除前序工序产生的亚表面变形层。振动抛光时间为2小时。
显微观察
图6 BM100G 研究级正置金相显微镜
经此上述流程，我们得到能够观察的样品。使用研究级正置金相显微镜BM100G 进行观察分析。样品表面平整，无可见划痕。
图7 试样1 明场100X、200X、500X
图8 试样2 明场100X、200X、500X
图9 试样3 明场100X、200X、500X
最终样品的EBSD解析率高达99%，实现材料微观结构的精 准表征与分析。
小结
对于高温合金等高性能材料的贰叠厂顿分析，样品表面质量直接决定数据的可靠性。将振动抛光纳入制样流程，是解决亚表面变形层问题的有效方法。该工艺组合表明，现代材料微观分析要求制样技术从追求宏观形貌平整，发展为追求微观尺度的晶体结构完整性。系统化的制样方案是获得准确、可靠贰叠厂顿数据的前提。
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